[发明专利]一种基于横向结构的雪崩二极管及其制备方法在审
申请号: | 202110688273.X | 申请日: | 2021-06-21 |
公开(公告)号: | CN113644136A | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 杨林安;胡啸林;马晓华;郝跃 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | H01L29/864 | 分类号: | H01L29/864;H01L21/329;H01L29/205 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 刘长春 |
地址: | 710000 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: |
本发明公开了一种基于横向结构的雪崩二极管及其制备方法,所述方法包括:按照第一生长参数,基于衬底层生长N极性GaN层;按照第二生长参数,基于所述N极性GaN层生长n型Al |
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搜索关键词: | 一种 基于 横向 结构 雪崩 二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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