[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、显示装置在审
| 申请号： | 202110675031.7 | 申请日： | 2021-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN113488533A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 卓恩宗;夏玉明;袁海江 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/49 | 分类号： | H01L29/49;H01L29/786;H01L21/336;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 晏波 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种薄膜晶体管及其制备方法、显示装置，薄膜晶体管包括：衬底；栅极，设于所述衬底的上侧，所述栅极的材质包括非晶态材料；栅极绝缘层，设于所述栅极的上侧；有源层，设于所述栅极绝缘层的上侧；以及，源极和漏极，间隔设于所述有源层的上侧。通过采用非晶态材料作为栅极，增加了栅极的平整度，相比于晶态材料，非晶态物质具有许多晶态物质所不具备的优良性质，其原子排布不规整，使得栅极具有较好的电化学活性，最终，提高了薄膜晶体管的电子迁移率和开关电流比，使得薄膜晶体管的性能优良，以适应各种工业化需求。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制备 方法 显示装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于惠科股份有限公司，未经惠科股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110675031.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
