[发明专利]带静电塑片元件重液悬浮巨量转移组装和固晶的方法和系统在审
申请号: | 202110657583.5 | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN115347108A | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 吴正科 | 申请(专利权)人: | 吴正科 |
主分类号: | H01L33/62 | 分类号: | H01L33/62;H01L21/683 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 325800 浙江省温州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种带静电塑片元件重液悬浮巨量转移组装和固晶的方法和系统,克服现有技术的缺点,提供全新思路和额外的优点。其特征包括:向塑片元件施加静电力置入重液中,重液的浮力克服塑片元件的重力,带静电的塑片元件相互排斥,静电力和浮力共同作用,将塑片元件基本均地分布在重液表面上,其中重液容器的液面边缘内侧设置可分段调节静电电压大小的静电发射棒及绝缘块,静电排斥力使塑片元件分散漂移,去除多余的非矩阵分布排列的塑片元件集合。在另外一个实施例中,公开了一种用于组装多个塑片元件的系统,该系统包括重液,其密度从2.0‑4.3克/立方厘米,重液容器边缘可以施加可分段调节大小的静电压;料斗,在施放塑片元件进入重液表面之前,方便对其施加静电荷,其中静电电压可以调节大小。所述的静电斥力和重液的浮力的共同作用,将多个塑片元件基本均匀地分布在所述的重液表面上,同时去除多余的塑片元件。 | ||
搜索关键词: | 静电 元件 悬浮 巨量 转移 组装 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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