[发明专利]带静电塑片元件重液悬浮巨量转移组装和固晶的方法和系统

权利要求书

1.一种带静电塑片元件重液悬浮巨量转移组装和固晶的方法和系统，所述的方法和系统包括，通过料斗将带静电的塑片元件置入重液之中并悬浮于重液之上，塑片元件相互的静电排斥力和浮力共同作用，使塑片元件分散漂移，最后基本均地分布于液面上，并去除多余的塑片元件集合。

2.根据权利要求1所述的方法和系统，还包括将所述多个塑片元件，从矩阵分布排列的重液表面转移到配置有两端独立调压的双硅电极和真空吸附凹槽的次级基板。

3.根据权利要求2所示方法和系统，还包括，将所述多个塑片元件组合从所述的次级基板通过成型模板精确地转移到具有电连接的最终基板，以及与所述的多个塑片元件组合产生电连接。

4.根据权利要求1所述的方法和系统，其中所述的重液密度从2.0–4.3克/立方厘米，并且重液容器内侧边沿靠近液面位置，可以施加分段调节电压大小的静电发射棒和绝缘块。

5.根据权利要求1所述的方法和系统，其中所述的重液对悬浮于其上的塑片元件产生浮力，浮力和静电排斥力的共同作用，使塑片元件漂移分散开来呈矩阵分布排列。

6.根据权利要求5所述的方法和系统，其中所述的多个塑片元件的所述的塑片包含一层或者多层塑片组成，其中还可以包含发泡塑片，其厚度和长宽尺寸的选择，使得当所述的塑片元件悬浮在所述的重液上时，产生足够的浮力和静电排斥力，促使塑片元件呈有规律的矩阵分布排列，同时与重液容器的边缘对齐。

7.根据权利要求6所述的方法和系统，其中所述的重液容器一边设置多余塑片元件储存区，同时设置类似于止回阀的多余塑片元件入口，而静电排斥力有助于去除多余的塑片元件。

8.根据权利要求7所述的方法和系统，其中呈矩阵分布排列的塑片元件，只有必要的不可或缺的塑片元件，留在重液液面之上。

9.根据权利要求1所述的方法和系统，其中在放置塑片元件于重液液面之前，在料斗上施加足够高的静电压，使塑片元件带有足够的静电荷。

10.根据权利要求1所述的方法和系统，其中所述的料斗具备可以施加足够静电压的温度湿度微环境和微循环，位置在重液容器之上并且可以自由移动的装置。