[发明专利]一种半导体工艺设备有效
| 申请号： | 202110655852.4 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113430495B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 黄其伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种半导体工艺设备，包括控制装置、工艺电源、工艺腔室和设置在工艺腔室中的基座，基座上设置有用于承载晶圆的承载盘，承载盘上设置有至少一个可与晶圆电接触的探头，探头通过部分穿设于基座中的导线与工艺腔室外部的工艺电源电连接，构成一断路回路；半导体工艺设备还包括检测组件，检测组件用于检测断路回路是否导通；控制装置用于在检测组件检测到断路回路导通时，控制工艺电源停止运行。在本发明中，检测组件能够在内衬等器件与晶圆导通时，及时检测到探头与工艺电源电连接并构成的断路回路导通，进而控制装置可以及时控制工艺电源停止运行，使半导体工艺停止，消除了晶圆上的器件被击穿的风险，提高了晶圆及器件的产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110655852.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种折叠式集装箱房
- 下一篇：取料机供水装置及取料机系统
- 同类专利
- 专利分类
