[发明专利]一种压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110655068.3 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113390552A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 许克宇;武斌 | 申请（专利权）人： | 深圳市美思先端电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/06 |
| 代理公司： | 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙) 44309 | 代理人： | 廉红果 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公明街道塘家社区观*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压力传感器，包括玻璃底座和位于所述玻璃底座上的硅应变膜片，该玻璃底座的一面设有凹陷空腔，该硅应变膜片包括位于正面的绝缘介质层和绝缘介质层覆盖的硅衬底；所述硅应变膜片的正面朝向所述空腔处设有鱼骨形的十字梁膜件，所述十字梁膜件的各个端部设有一组压敏电阻、一组重掺杂接触区和一对金属引线，压敏电阻和重掺杂接触区串接，两端由金属引线从重掺杂接触区引出，所述金属引线和所述重掺杂接触区在所述硅应变膜片的正面形成欧姆接触，且各压敏电阻之间形成惠斯通电桥；降低成本，提高效率，可调节传感器的性能，适用于不同的量程；抗干扰性强，有着优异的刚度、极限屈服弯矩和恢复力特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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