[发明专利]高效环保的太阳能电池刻蚀工艺在审
| 申请号： | 202110643038.0 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113437180A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 常宇峰;蒋红彬;缪强;曲凯;周锦峰;张岩;于亚春;杨恒春 | 申请（专利权）人： | 苏州潞能能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/306 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，包括如下步骤：S1，前氧化；S2，去PSG；S3，漂洗；S4，吹干；S5，前清洗；S6，碱抛；S7，后清洗；S8，酸洗；S9，热水慢提拉；S10，热风烘干。本发明采用一种完全脱离硝酸体系的刻蚀方式，在碱和辅助添加剂的作用下完成对硅片的腐蚀，不会产生氮排放，从而减轻了污水的处理压力，在为企业环保生产提供了可靠的工艺方式的同时减低了企业的制作成本，且批量的生产数据效率提升0.1％左右，增加了电池片的转换效率，真正使企业达到节能减排、降本增效的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 高效 环保 太阳能电池 刻蚀 工艺 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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