[发明专利]高效环保的太阳能电池刻蚀工艺

说明书

本发明公开了一种高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，包括如下步骤：S1，前氧化；S2，去PSG；S3，漂洗；S4，吹干；S5，前清洗；S6，碱抛；S7，后清洗；S8，酸洗；S9，热水慢提拉；S10，热风烘干。本发明采用一种完全脱离硝酸体系的刻蚀方式，在碱和辅助添加剂的作用下完成对硅片的腐蚀，不会产生氮排放，从而减轻了污水的处理压力，在为企业环保生产提供了可靠的工艺方式的同时减低了企业的制作成本，且批量的生产数据效率提升0.1％左右，增加了电池片的转换效率，真正使企业达到节能减排、降本增效的目的。

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种高效环保的太阳能电池刻蚀工艺。

背景技术

目前，单晶硅太阳能电池生产工艺已经日趋成熟，可以实现标准化生产，其主要工艺步骤如下：碱制绒→扩散制结→SE激光→刻蚀→后氧化→背面氧化铝→背面氮化硅→正面氮化硅→背面激光开槽→丝网印刷→烧结→测试分选。其中，刻蚀工艺中需要使用硝酸和氢氟酸的混合溶液对硅片进行腐蚀，硝酸的用量较大从而导致污水中含有大量的氮，污水处理过程中对氮的处理方式通常采用生化法脱氮，这种方法占空间较大，处理有效性偏低，处理后污水中还是会含有一定量的氮，在现在国产倡导节能环保生产的前提下，这种含硝酸工艺方式已经达不到环保要求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，能够有效地解决硝酸工艺带来的环保压力，从而降低制作成本，提升效率。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是提供一种高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，包括如下步骤：

S1，前氧化：对SE激光后的硅片进行正面氧化保护；

S2，去PSG：使用氢氟酸溶液去除扩散过程中形成在所述硅片背面的氧化层；

S3，漂洗：使用纯水对所述硅片进行漂洗；

S4，吹干：对所述硅片进行干燥；

S5，前清洗：使用KOH和双氧水的混合溶液对所述硅片进行清洗；

S6，碱抛：将所述硅片浸没在碱溶液中，去除扩散后所述硅片背面形成的PN结；

S7，后清洗：使用双氧水和碱液对所述硅片进行清洗；

S8，酸洗：使用氢氟酸溶液对所述硅片表面进行酸洗，去除所述硅片表面的氧化层；

S9，热水慢提拉：将所述硅片浸没在热水中并缓慢提升使所述硅片表面脱水；

S10，热风烘干：采用加热空气对所述硅片进行烘干。

在本发明的一个实施例中，在所述步骤S5之后，还包括步骤：

S51，漂洗：使用纯水对所述硅片进行漂洗。

在本发明的一个实施例中，在所述步骤S6之后，还包括步骤：

S61，漂洗：使用纯水对所述硅片进行漂洗。

在本发明的一个实施例中，在所述步骤S7之后，还包括步骤：

S71，漂洗：使用纯水对所述硅片进行漂洗。

在本发明的一个实施例中，在所述步骤S8之后，还包括步骤：

S81，漂洗：使用纯水对所述硅片进行漂洗。

在本发明的一个实施例中，在所述步骤S5中，所述混合溶液包括0.5-2％KOH和1-5％双氧水。

在本发明的一个实施例中，在所述步骤S6中，所述碱溶液包括2-5％KOH和0.5-2％添加剂。

在本发明的一个实施例中，在所述步骤S8中，所述氢氟酸溶液包括5-10％HF和5-10％HCL。