[发明专利]高效环保的太阳能电池刻蚀工艺

权利要求书

1.一种高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，其特征在于，包括如下步骤：

S1，前氧化：对SE激光后的硅片进行正面氧化保护；

S2，去PSG：使用氢氟酸溶液去除扩散过程中形成在所述硅片背面的氧化层；

S3，漂洗：使用纯水对所述硅片进行漂洗；

S4，吹干：对所述硅片进行干燥；

S5，前清洗：使用KOH和双氧水的混合溶液对所述硅片进行清洗；

S6，碱抛：将所述硅片浸没在碱溶液中，去除扩散后所述硅片背面形成的PN结；

S7，后清洗：使用双氧水和碱液对所述硅片进行清洗；

S8，酸洗：使用氢氟酸溶液对所述硅片表面进行酸洗，去除所述硅片表面的氧化层；

S9，热水慢提拉：将所述硅片浸没在热水中并缓慢提升使所述硅片表面脱水；

S10，热风烘干：采用加热空气对所述硅片进行烘干。

2.根据权利要求1所述的高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，其特征在于，在所述步骤S5之后，还包括步骤：

S51，漂洗：使用纯水对所述硅片进行漂洗。

3.根据权利要求2所述的高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，其特征在于，在所述步骤S6之后，还包括步骤：

S61，漂洗：使用纯水对所述硅片进行漂洗。

4.根据权利要求3所述的高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，其特征在于，在所述步骤S7之后，还包括步骤：

S71，漂洗：使用纯水对所述硅片进行漂洗。

5.根据权利要求4所述的高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，其特征在于，在所述步骤S8之后，还包括步骤：

S81，漂洗：使用纯水对所述硅片进行漂洗。

6.根据权利要求1所述的高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，其特征在于，在所述步骤S5中，所述混合溶液包括0.5-2％KOH和1-5％双氧水。

7.根据权利要求1所述的高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，其特征在于，在所述步骤S6中，所述碱溶液包括2-5％KOH和0.5-2％添加剂。

8.根据权利要求1所述的高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，其特征在于，在所述步骤S8中，所述氢氟酸溶液包括5-10％HF和5-10％HCL。

9.根据权利要求1所述的高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，其特征在于，在所述步骤S5、S6、S7、S8中，采用清洗槽对所述硅片进行清洗，所述清洗槽包括：

槽体，包括两个回流口和进液口；

两个隔板，分别设置在所述槽体的内底壁上，且分别与所述槽体的两侧壁平行设置，两个所述隔板的上端分别与所述槽体的两侧壁之间形成溢流口，两个所述隔板和所述槽体的两侧壁之间分别形成回流通道，两个所述隔板与所述槽体的底壁之间形成清洗腔，两个所述回流口分别与两个所述回流通道连接；

均流板，设置在两个所述隔板之间，且与所述槽体的底壁平行设置，所述进液口低于所述均流板；

循环泵，所述循环泵的吸入口和两个所述回流口连接，所述循环泵的泵出口和所述进液口连接。

10.根据权利要求1所述的高效环保的太阳能电池刻蚀工艺，其特征在于，在所述步骤S10中，采用烘干装置对所述硅片进行烘干，所述烘干装置包括：

槽体；

侧匀流板和底匀流板，分别设置在所述槽体内，且分别与所述槽体的侧壁和底壁间隔平行设置；

循环风机，设置在所述底匀流板和所述槽体的底壁之间；

风机，通过电加热器与所述槽体连接，能够对所述槽体内吹入加热空气。