[发明专利]PCBA板表面派瑞林膜层的除去方法在审
| 申请号： | 202110632351.4 | 申请日： | 2021-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN113365433A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 吕勇;云洋 | 申请（专利权）人： | 深圳奥拦科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H05K3/22 | 分类号： | H05K3/22 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 李美 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种PCBA板表面派瑞林膜层的除去方法。上述PCBA板表面派瑞林膜层的除去方法包括如下步骤：提供PCBA板，PCBA板表面设有派瑞林膜层，派瑞林膜层具有预设的待除去区；在PCBA板上罩设遮蔽罩，遮蔽罩设有通孔，通孔的位置与待除去区的位置相对应；对派瑞林膜层进行等离子蚀刻，在蚀刻过程中，不添加偏压电源和电感，控制蚀刻过程中的含氟气体与氧气的流量比为(0.3～0.5):1，射频功率为450W～1000W。上述派瑞林膜层的蚀刻方法，通过提高射频功率，同时调整CF |
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| 搜索关键词： | pcba 表面 派瑞林膜层 除去 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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