[发明专利]一种椭圆形碳化硅石墨坩埚及制备工艺在审
申请号: | 202110628121.0 | 申请日: | 2021-06-06 |
公开(公告)号: | CN113277862A | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 邢连华 | 申请(专利权)人: | 邢连华 |
主分类号: | C04B35/66 | 分类号: | C04B35/66;C04B35/565;C04B35/622;F27B14/10 |
代理公司: | 北京麦汇智云知识产权代理有限公司 11754 | 代理人: | 曹治丽 |
地址: | 266011 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明提出了一种椭圆形碳化硅石墨坩埚的制备工艺,涉及熔炼坩埚领域。一种椭圆形碳化硅石墨坩埚的制备工艺包括以下步骤:S1,在混炼机内加入质量比为35%‑45%的石墨、38%‑48%的的碳化硅、7%‑27%的添加剂;S2,将S1中的混合物料填充在模具内,对模具进行密封,密封后的模具放入冷等静压机内进行打压;S3,将打压后的模具取出拆卸,并去除产品毛坯上口边缘处多余的毛刺;S4,将产品毛坯放入固化窑内进行干燥;S5,将干燥好的产品毛坯涂上抗氧化涂层;S6,产品毛坯进行煅烧成型加工。制成的坩埚具有导热性能好的优点。一种椭圆形碳化硅石墨坩埚,包括基于上述制备工艺制备的坩埚,上述坩埚内设置有调节板。该坩埚解决了坩埚内的金属液不易舀取的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 椭圆形 碳化硅 石墨 坩埚 制备 工艺 | ||
【主权项】:
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