[发明专利]一种椭圆形碳化硅石墨坩埚及制备工艺

权利要求书

1.一种椭圆形碳化硅石墨坩埚的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：

1)在混炼机内加入质量比为35％-45％的石墨、38％-48％的的碳化硅、7％-27％的添加剂混合制成物料；

2)将所述混炼机制成的混合物料填充在模具内，对模具进行密封，密封后的模具放入冷等静压机内进行打压；

3)将打压后的模具取出拆卸，取出产品毛坯，并去除产品毛坯上口边缘处多余的毛刺；

4)将车床加工后的产品毛坯放入固化窑内进行干燥；

5)将干燥好的产品毛坯取出后，使用毛刷手工将产品表面涂上抗氧化涂层；

6)将涂有抗氧化层的产品毛坯进行煅烧成型加工。

2.根据权利要求1所述的一种椭圆形碳化硅石墨坩埚的制备工艺，其特征在于，步骤1)中，在所述混合物料填充在模具前，装入塑料桶，且将所述塑料桶放置在室温为25摄氏度的恒温室内保温。

3.根据权利要求2所述的一种椭圆形碳化硅石墨坩埚的制备工艺，其特征在于，所述混合物料装入塑料桶前进行干燥。

4.根据权利要求3所述的一种椭圆形碳化硅石墨坩埚的制备工艺，其特征在于，还包括成型料仓，所述恒温室内的混合物料通过送料机提升到所述成型料仓内，再将所述成型料仓内的混合原料装入所述模具。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种椭圆形碳化硅石墨坩埚的制备工艺，其特征在于，所述模具的填料槽为椭圆形。

6.根据权利要求5所述的一种椭圆形碳化硅石墨坩埚的制备工艺，其特征在于，步骤3)中，所述产品毛坯的毛刺通过车床打磨设备清除。

7.根据权利要求6所述的一种椭圆形碳化硅石墨坩埚的制备工艺，其特征在于，步骤6)中煅烧加工设备为电炉或燃气窑炉。

8.根据权利要求1所述的一种椭圆形碳化硅石墨坩埚的制备工艺，其特征在于，步骤1)中，所述添加剂为树脂、碳化硼或金属硅中的一种或多种。

9.一种椭圆形碳化硅石墨坩埚，其特征在于，包括基于权利要求1-7任一项所述制备工艺制备的坩埚，所述坩埚内设置有用于将其内腔分隔的调节板，且所述调节板的高度小于所述坩埚的深度。

10.根据权利要求9所述的一种椭圆形碳化硅石墨坩埚，其特征在于，所述调节板的材质和所述坩埚的材质相同。