[发明专利]一种沉铜组合物及沉铜方法有效

专利信息
申请号: 202110618998.1 申请日: 2021-06-03
公开(公告)号: CN113463074B 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 孙宇曦;曾庆明 申请(专利权)人: 广东硕成科技股份有限公司
主分类号: C23C18/40 分类号: C23C18/40;H05K3/42
代理公司: 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 代理人: 汤俊明
地址: 512000 广东省韶关市乳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明属于镀铜技术领域,具体涉及一种沉铜组合物及沉铜方法。本技术方案中发明人通过选择合适和稳定剂,使在沉铜的过程沉铜稳定,避免了铜离子的聚集,使得在沉铜的过程中达到晶粒细化的目的,避免部分区域铜富集增长形成斑块,提高了沉铜的光亮度和均匀性,保证沉铜的致密性,避免铜层稀疏,避免部分区域沉铜厚度降低,甚至出现铜空洞的现象,提高沉铜层的机械性能。
搜索关键词: 一种 组合 方法
【主权项】:
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