[发明专利]一种沉铜组合物及沉铜方法有效

专利信息
申请号: 202110618998.1 申请日: 2021-06-03
公开(公告)号: CN113463074B 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 孙宇曦;曾庆明 申请(专利权)人: 广东硕成科技股份有限公司
主分类号: C23C18/40 分类号: C23C18/40;H05K3/42
代理公司: 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 代理人: 汤俊明
地址: 512000 广东省韶关市乳*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 组合 方法
【权利要求书】:

1.一种用于玻璃环氧板的沉铜组合物,其特征在于,至少包括铜离子源、稳定剂、表面活性剂、水,其中稳定剂为含有杂环的化合物和/或非杂环的化合物;

所述表面活性剂为重量比为(1-10):1的阴离子表面型表面活性剂和非离子型表面活性剂;所述阴离子表面活性剂为十二烷基二苯醚二磺酸钠,所述非离子表面活性剂为聚乙二醇;

所述稳定剂中含有杂环的化合物选自联咪唑()、苯并咪唑()、1,2-苯并异噻唑啉-3-酮、噻苯唑、(9ci)-1H-苯并咪唑-1-胺()、左旋咪唑碱()、1,1'-磺酰二咪唑()2-巯基苯并咪唑、()、咪唑并[1,2-b]哒嗪()、1,1'-乙二酰基二咪唑、3-甲基吡啶并[3,4-e]苯并咪唑-2-胺()、1,1-硫代羰基二咪唑()、2-巯基苯并咪唑羧酸()、5-乙氧基-2-巯基苯并咪唑()、(-)-苯并四咪唑()、2-甲巯基苯并咪唑、3H-咪唑并[4,5-b]吡啶-5-羧酸、2-巯基苯并咪唑羧酸、2,2'-联吡啶-5,5'-二甲醇、甲基糠基二硫、3-(2-吡啶二硫代)丙酸、二糠基二硫和2,2-二硫二吡啶中一种或多种;

所述稳定剂中非杂环的化合物选自硫脲、羊毛硫氨酸、硫代草氨酸乙酯、2-巯基-S-硫代苯甲酰乙酸、S-羧乙基异硫脲甜菜碱、氨硫脲()、硫酸胍、乙硫氨酯()、脒基硫脲()、硫代丙酰胺、N-乙酰硫脲、S-硫代苯甲酰巯基乙酸和S-羧乙基异硫脲甜菜碱中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的用于玻璃环氧板的沉铜组合物,其特征在于,所述稳定剂在用于玻璃环氧板的沉铜组合物中的含量在1-50ppm。

3.根据权利要求2所述的用于玻璃环氧板的沉铜组合物,其特征在于,所述稳定剂在用于玻璃环氧板的沉铜组合物中的含量在1-10ppm。

4.根据权利要求1-3任一项所述的用于玻璃环氧板的沉铜组合物,其特征在于,在30-35℃的条件下,pH范围为11-13。

5.根据权利要求4所述的用于玻璃环氧板的沉铜组合物,其特征在于,在30-35℃的条件下,pH范围为12-13。

6.根据权利要求1所述的用于玻璃环氧板的沉铜组合物,其特征在于,所述铜离子源为无机铜化合物和/或有机铜化合物。

7.根据权利要求6所述的用于玻璃环氧板的沉铜组合物,其特征在于,所述无机铜化合物选自氯化铜、氧化铜、硫酸铜、碱式碳酸铜、硝酸铜和五水硫酸铜中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的用于玻璃环氧板的沉铜组合物,其特征在于,所述用于玻璃环氧板的沉铜组合物还包括还原剂,所述还原剂为无机还原剂和/或有机还原剂。

9.一种使用权利要求1-8任一项所述的用于玻璃环氧板的沉铜组合物进行沉铜的方法,其特征在于,至少包括步骤:

(1)将玻璃环氧板进行膨松、除胶、活化、还原中的一种或多种处理预处理;

(2)将预处理完成的玻璃环氧板放置于30-35℃中的用于玻璃环氧板的沉铜组合物中进行沉铜。

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