[发明专利]一种日盲紫外光敏晶体管的制备方法

摘要

本发明公开了一种日盲紫外光敏晶体管的制备方法，包括：步骤一、对衬底进行预处理，通过光刻剥离技术曝光显影出栅极区域，在栅极区域蒸镀导电膜；步骤二、通过光刻剥离技术曝光显影出第一堆叠区域，并在所述第一堆叠区域通过原子层沉积得到绝缘层；步骤三、通过光刻剥离技术曝光显影出第二堆叠区域，并在所述第二堆叠区域上通过原子层沉积得到有源层；步骤四、通过光刻剥离技术曝光显影出第三堆叠区域，并在所述第三堆叠区域上通过沉积得到叉指电极层；其中，所述导电膜为金属或氧化物导电膜，所述绝缘层为高介电常数的氧化物绝缘体，所述有源层为氧化镓和氮化铝，所述叉指电极层为金属或导电氧化物。能够提高光电探测特性，增强器件稳定性。