[发明专利]声表面波装置的制作方法在审
| 申请号： | 202110587491.4 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113346857A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 王阳;陆彬;曹庭松;吴洋洋 | 申请（专利权）人： | 北京超材信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/10 | 分类号： | H03H3/10;H03H9/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 孙宝海;袁礼君 |
| 地址： | 102600 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种声表面波装置的制作方法，包括：提供压电基体，在所述压电基体上形成IDT电极，所述IDT电极包括设置在所述压电基体上的第一金属层和设置在所述第一金属层上的第二金属层，所述第一金属层的成份包括钛，所述第二金属层的成分包括铝，对所述IDT电极进行热处理包括以下步骤：第一热处理，在600‑650℃下处理15‑30分钟，在所述第一金属层和第二金属层之间形成钛铝金属间化合物；第二热处理，在200‑300℃下处理1‑5小时。根据本发明提供的声表面波装置的制作方法，能够得到耐受功率高和耐久性好的声表面波装置，并且能够提高表面波装置的频率温度系数，而且制作工序简单，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 装置 制作方法 | ||
【主权项】：
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