[发明专利]机械手臂的校正方法有效
| 申请号： | 202110583355.8 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113305841B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 杨军;任春虎;田乐;王刘光 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/16 | 分类号： | B25J9/16;B25J9/10 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 史治法 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种机械手臂的校正方法，包括：提供校正装置，所述校正装置包括治具晶圆；使用机械手臂抓取和/或传送所述治具晶圆，以得到采集数据；基于所述采集数据判断是否需要对所述机械手臂进行校正；当需要对所述机械手臂进行校正时，根据所述采集数据得到补偿值，并基于所述补偿值对所述机械手臂进行校正。上述机械手臂的校正方法，无需人工使用外接手柄和校正治具进行操作，可避免手动校准导致的误操作风险，减少由于误操作而造成的额外损失，从而提高机械手臂校正过程的准确性；同时本申请提供的机械手臂的校正方法，无需打开腔室即可完成校正，在校正完成后也无需进行复机工作，可以有效地减少机台的宕机时间，提升机台工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 手臂 校正 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110583355.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
