[发明专利]MEMS压电扬声器及其加工方法在审
| 申请号： | 202110576450.5 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN115412814A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 吴清清;黄景泽;高传海;效烨辉 | 申请（专利权）人： | 上海思立微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00;H04R31/00;B81B7/02;B81C1/00;H04R7/12;H04R7/14 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 钱能;张印铎 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS压电扬声器及其加工方法，涉及扬声器领域，所述MEMS压电扬声器包括：用于起到支撑作用的底板；设置在所述底板上的压电单元，所述压电单元形成有沿其轴线方向贯穿的第一空腔；设置在所述压电单元背向所述底板一侧的由金属薄膜制成的振膜，所述振膜覆盖所述第一空腔。本申请能够有效提高器件的可靠性，简化器件的结构，减少封装流程。 | ||
| 搜索关键词： | mems 压电 扬声器 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海思立微电子科技有限公司，未经上海思立微电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110576450.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
