[发明专利]肟磺酸酯光产酸剂、含其的抗蚀剂组合物、电子器件及应用在审
| 申请号： | 202110553209.0 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN115368340A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 钱晓春;龚艳;朱烽伟;徐丽萍 | 申请（专利权）人： | 常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力光电材料有限公司;泰兴先先化工有限公司 |
| 主分类号： | C07D335/02 | 分类号： | C07D335/02;C07D409/12;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张美月 |
| 地址： | 213159 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种肟磺酸酯光产酸剂、含其的抗蚀剂组合物、电子器件及应用。肟磺酸酯光产酸剂包括通式(A)所示的化合物。本申请中通式(A)所示的化合物属于非离子型光产酸剂，具有吸光性基团和产酸性基团，磺酸酯基与肟结构直接相连，在活性能量射线照射下能够发生N‑O键断裂而产生酸性较强的磺酸。结构对波长300‑450nm尤其是365nm(I线)、385nm和405nm(H线)的活性能量射线具有高灵敏度和较强吸收，在较低曝光量下即可较快地产酸。与此同时，由于其自身结构的特殊性它还具有良好的溶解性、热稳定性和储存稳定性。 |
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| 搜索关键词： | 肟磺酸酯光产酸剂 抗蚀剂 组合 电子器件 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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