[发明专利]纳米金属结构随机断裂构造的PUF器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202110548669.4 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113284853A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 张泰平;黄锋;王丕东;李栋;孙松;姚尧 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H01L23/00 | 分类号： | H01L23/00;H01L21/48;B82Y10/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 冯玲玲 |
| 地址： | 621999*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米金属结构随机断裂构造的PUF器件及其制备方法，所述器件包括：衬底、纳米金属结构和负性光刻胶模板；负性光刻胶模板为由多个环形轮廓单元组成的阵列，所述环形轮廓带有缺口，并位于衬底表面；纳米金属结构随机分布于负性光刻胶模板的部分环形轮廓单元内部；所述制备方法首先通过电子束曝光工艺制作负性光刻胶模板，之后在形成负性光刻胶模板的衬底上沉积纳米金属薄膜，最后通过粘合剂剥离的方式，形成纳米金属结构随机分布的PUF器件。本发明通过简单的工艺，制备的PUF器件具有很强的随机性，使其具备天然的不可复制性，应用可靠性及安全性能较高，可广泛应用于信息安全领域。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 金属结构 随机 断裂 构造 puf 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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