[发明专利]被加工物的保持机构和加工装置

摘要

本发明提供被加工物的保持机构和加工装置，能够实现被加工物的适当的保持和简单的取下。被加工物的保持机构具有：保持基台，其具有保持面，该保持面的形状和大小与含有示出强磁性的材料的被加工物对应；磁铁，其设置于保持基台的保持面，在磁铁与被加工物之间产生引力；以及释放构件，其对通过与磁铁之间所产生的引力而被保持于保持基台的保持面侧的被加工物施加从保持面离开的方向的力，释放构件具有：盖片，其覆盖保持面；以及流体提供部，其向保持面与盖片之间提供流体，在盖片的与保持面相反的一侧的面上，设置有抑制盖片对被加工物的吸附的凹凸构造或者含有促进被加工物从盖片剥离的剥离促进剂的层。