[发明专利]被加工物的保持机构和加工装置

权利要求书

1.一种被加工物的保持机构，其具有：

保持基台，其具有保持面，该保持面的形状和大小与含有示出强磁性的材料的被加工物对应；

磁铁，其设置于该保持基台的该保持面，在该磁铁与该被加工物之间产生引力；以及

释放构件，其对通过与该磁铁之间所产生的引力而被保持于该保持基台的该保持面侧的该被加工物施加从该保持面离开的方向的力，

该释放构件具有：

盖片，其覆盖该保持面；以及

流体提供部，其向该保持面与该盖片之间提供流体，

在该盖片的与该保持面相反的一侧的面上，设置有抑制该盖片对该被加工物的吸附的凹凸构造或者含有促进该被加工物从该盖片剥离的剥离促进剂的层，

隔着该盖片通过该被加工物与该磁铁之间所产生的引力对该被加工物进行保持，并且利用从该流体提供部提供的流体使该盖片膨胀从而产生使该被加工物从该保持面离开的方向的力。

2.根据权利要求1所述的被加工物的保持机构，其中，

该释放构件还具有：

第1流路，其将该保持面与该流体提供部连接；

阀，其设置于该第1流路；

第2流路，其经由该阀而从该第1流路分支；以及

喷射器，其具有吸引口、提供口以及排出口，该吸引口与该第1流路的比该阀靠该保持面侧的位置连接，该提供口与该第2流路连接，该排出口将从该提供口提供的流体排出，

该阀在通过该第1流路向该保持面与该盖片之间提供流体的第1状态与通过该第2流路向该喷射器的该提供口提供流体而使该吸引口产生负压的第2状态之间进行切换。

3.一种加工装置，其具有：

卡盘工作台，其对含有示出强磁性的材料的被加工物进行保持；

加工单元，其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行加工；以及

搬送构件，其向该卡盘工作台搬入该被加工物或者从该卡盘工作台搬出该被加工物，

该搬送构件具有：

保持基台，其具有保持面，该保持面的形状和大小与该被加工物对应；

磁铁，其设置于该保持基台的该保持面，在该磁铁与该被加工物之间产生引力；以及

释放构件，其对通过与该磁铁之间所产生的引力而被保持于该保持基台的该保持面侧的该被加工物施加从该保持面离开的方向的力，

该释放构件具有：

盖片，其覆盖该保持面；以及

流体提供部，其向该保持面与该盖片之间提供流体，

在该盖片的与该保持面相反的一侧的面上，设置有抑制该盖片对该被加工物的吸附的凹凸构造或者含有促进该被加工物从该盖片剥离的剥离促进剂的层，

该搬送构件隔着该盖片通过该被加工物与该磁铁之间所产生的引力对该被加工物进行保持，并且利用从该流体提供部提供的流体使该盖片膨胀从而产生使该被加工物从该保持面离开的方向的力。

4.根据权利要求3所述的加工装置，其中，

该释放构件还具有：

第1流路，其将该保持面与该流体提供部连接；

阀，其设置于该第1流路；

第2流路，其经由该阀而从该第1流路分支；以及

喷射器，其具有吸引口、提供口以及排出口，该吸引口与该第1流路的比该阀靠该保持面侧的位置连接，该提供口与该第2流路连接，该排出口将从该提供口提供的流体排出，

该阀在通过该第1流路向该保持面与该盖片之间提供流体的第1状态与通过该第2流路向该喷射器的该提供口提供流体而使该吸引口产生负压的第2状态之间进行切换。