[发明专利]一种用于大长径比金属筒（或管）内壁沉积类金刚石薄膜的设备

摘要

本发明涉及一种在大长径比(L/D)或小直径金属筒(或管)内壁沉积类金刚石薄膜的设备，设备采用一个用金属丝网制作的筒(或管)状阳极，把金属筒(或管)的内壁作为阴极，在丝网阳极和金属筒(或管)内壁之间构成等离子电场，丝网阳极的中心区域构成反应气体流通通道，丝网阳极上的网孔则成为反应气体均匀分布的通道，在等离子电场中施加高电压，电场中高能电子轰击丝网阳极并产生电流。高能电子的轰击和电流使丝网阳极产生高温，对被镀金属筒内壁辐射加热。丝网阳极能够增大反应气体的通量，提高在小的电极间距下薄膜沉积的均匀性。该设备内设置了热电偶和温度显示器，调整丝网阳极的网格密度(网格尺寸)和丝线线径，使丝网阳极温度达到类金刚石薄膜材料沉积所需的温度。该技术有效解决在具有大的长径比或小直径筒(或管)中，狭窄极间距的封闭空间内反应气体流动受阻而导致放电困难，从而使薄膜沉积不均和难以成膜的问题。