[发明专利]一种用于大长径比金属筒（或管）内壁沉积类金刚石薄膜的设备

权利要求书

1.一种用于金属筒内壁沉积金刚石薄膜的设备，含有真空沉积室，与沉积室连通有原料进气管和抽真空装置，在沉积室内底部设有与等离子发生源负极连接的阴极板，阴极板上连接了一个导电环，构成了阴极载物台；被镀金属筒置于导电环上，在被镀金属筒的外围设置了阳极筒，沉积室内部的阴极板周围设置了阳极罩，阳极罩与阳极筒连通，共同构成阳极屏蔽，在阴极板下设置了电绝缘陶瓷板，隔离阴极板与沉积室；其中，阳极罩与沉积室电连接，沉积室与地线连接，在被镀金属筒内设置了丝网阳极筒，丝网阳极筒与阳极罩电连接，形成丝网阳极，在丝网阳极上安装了热电偶，热电偶与沉积室外的温度显示器连通，其特征是：所述被镀金属筒为圆形时，金属筒内壁直径需50mm以上，为多边形时，金属筒内壁对向边距离需50mm以上，为椭圆形时，金属筒内壁短轴长度需50mm以上；所述等离子沉积阳极采用丝网结构，丝网阳极与被镀金属筒内壁之间间隔一定的距离，丝网阳极由表面光滑的金属丝编制而成，丝网网格构成气体通道，并形成热灯丝加热效应，温度显示器可测量并显示丝网阳极的温度；所述等离子发生源的阳极接地，发生源的阴极与真空电极连接，真空电极与阴极载物台连接。

2.根据权利要求1所述的用于金属筒内壁沉积金刚石薄膜的设备，其特征是：所述丝网阳极的金属丝线在300℃时，仍具有良好刚度和强度的金属丝线。

3.根据权利要求1所述的用于金属筒内壁沉积金刚石薄膜的设备，其特征是：所述丝网阳极的网格形式为菱形，或者为圆形，或者为矩形以及不规则形状。

4.根据权利要求1所述的用于金属筒内壁沉积金刚石薄膜的设备，其特征是：所述丝网阳极并不设置电力输入的加热电源，而是通过等离子电场中热电子的轰击并吸收电子，在金属丝线中形成阳极电流，使丝网阳极的温度上升。

5.根据权利要求1所述的用于金属筒内壁沉积金刚石薄膜的设备，其特征是：所述阳极罩和阳极筒与被镀金属筒、阴极板以及导电环之间的距离为2-5mm之间。

6.根据权利要求1所述的用于金属筒内壁沉积金刚石薄膜的设备，其特征是：所述导电环与阴极板之间由阳极罩隔开，并通过阴极杆穿越阳极罩上的圆孔连结，阴极杆与阳极罩上的圆孔内壁间隔2-5mm之间，形成阴阳极间的电绝缘；导电环与阳极罩之间的间距大于30mm。

7.根据权利要求1所述的用于金属筒内壁沉积金刚石薄膜的设备，其特征是：所述等离子发生源为DC直流等离子发生源，或者为DC直流脉冲等离子发生源，或者为RF射频等离子发生源，或者为微波等离子发生源。

8.根据权利要求1所述的用于金属筒内壁沉积金刚石薄膜的设备，其特征是：所述热电偶和温度显示器与丝网阳极连接，可测定构成丝网阳极的金属丝线线径和网格密度能否使丝网阳极温度达到类金刚石薄膜材料的沉积温度和电场强度。

9.根据权利要求1所述的用于金属筒内壁沉积金刚石薄膜的设备，其特征是：所述阳极筒、阳极罩、丝网阳极以及导电环的形状和尺寸与被镀金属筒的形状及尺寸相匹配，被镀金属筒为圆形筒，或者为椭圆形筒，或者为多边形筒。