[发明专利]MRAM器件和制造这种MRAM器件的方法在审
申请号: | 202110521636.0 | 申请日: | 2021-05-13 |
公开(公告)号: | CN113675333A | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | H·迪克西特;V·B·奈克 | 申请(专利权)人: | 格芯(美国)集成电路科技有限公司 |
主分类号: | H01L43/08 | 分类号: | H01L43/08;H01L43/02;H01L43/10;H01L43/12;G11C11/16 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 林莹莹;于静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开涉及一种MRAM器件和制造这种MRAM器件的方法。本文公开的一个示例性MRAM基元包括底部电极、位于底部电极上方的顶部电极、以及位于底部电极上方并位于顶部电极下方的MTJ(磁隧道结)元件。在该示例中,MTJ元件包括位于底部电极上方的底部绝缘层、位于底部电极上方的顶部绝缘层、以及位于底部绝缘层与顶部绝缘层之间的第一铁磁材料层。 | ||
搜索关键词: | mram 器件 制造 这种 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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