[发明专利]一种抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层及其制备方法和包含该涂层的制品

摘要

本发明提供一种抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层的制备方法：基材在真空条件下预热；通入氮源、钛源和第二辅助气体，在预热后的基材表面上进行化学气相沉积，得到沉积涂层；其中，以5‑8℃/min的速率加热至沉积温度，沉积温度为1010‑1025℃，沉积时间为120‑720min，沉积压力为0.04‑0.08MPa；第二辅助气体的流量为1000‑2000sccm；氮源为气体源，流量为800‑1200sccm；对沉积涂层进行冷却，冷却具体为：停止通入钛源，降温至800‑900℃；当降温至800‑900℃时，停止通入氮源，继续降温；当降温至200‑400℃时，停止通入第二辅助气体，随后冷却至室温，得到抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层。该涂层具有棱片状结构，可以显著增强氮化钛涂层的抗H2S腐蚀能力，增强涂层致密度与晶化程度。