[发明专利]一种抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层及其制备方法和包含该涂层的制品

权利要求书

1.一种抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）将基材在真空条件下进行预热，预热的温度为40-70℃；

步骤（1）中，在真空条件下通入第一辅助气体，第一辅助气体为氩气、氮气、氦气和氢气中的一种或多种；第一辅助气体的流量为500-1500sccm；

预热的升温速率为5-8℃/min；

真空条件下的真空度为≤0.1Mpa；

（2）通入氮源、钛源和第二辅助气体，在预热后的基材表面上进行化学气相沉积，得到沉积涂层；

其中，以5-8℃/min的速率加热至沉积温度，沉积温度为1015-1025℃，沉积时间为120-720min，沉积压力为0.04-0.08MPa；第二辅助气体的流量为1000-2000sccm；氮源为气体源，氮源的流量为800-1200sccm；

（3）对沉积涂层进行冷却，冷却具体为：

停止通入钛源，降温至800-900℃；

当降温至800-900℃时，停止通入氮源，继续降温；

当降温至200-400℃时，停止通入第二辅助气体，随后冷却至室温，得到所述抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层；

所述抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层中含有氮化钛晶粒，且氮化钛晶粒具有棱片状结构，氮化钛晶粒呈互相交织状；

所述抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层中，按原子总数计，氮元素的原子百分比为40%-60%，钛元素的原子百分比为40%-60%；

摩擦系数为0.12-0.22，平均磨损率为1.0×10^-6-2.0×10^-6mm³N^-1m^-1，均匀腐蚀速率为0.0020mm/a；

氮化钛晶粒的长度为0.3-3µm，氮化钛晶粒宽度为200-500nm。

2.根据权利要求1所述的一种抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层的制备方法，其特征在于，在步骤（1）之前，对基材进行预处理，预处理具体过程为：对基材依次进行打磨、喷砂、抛光、清洗和干燥。

3.根据权利要求1所述的一种抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层的制备方法，其特征在于，步骤（2）中，第二辅助气体为氩气、氮气、氦气和氢气中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的一种抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层的制备方法，其特征在于，所述抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层的厚度为5-30μm。

5.一种制品，其特征在于，所述制品含有权利要求1~4任意一项所述制备方法制备得到的抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层。