[发明专利]抛光液输送装置和化学机械抛光设备在审
| 申请号： | 202110498959.2 | 申请日： | 2021-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN113442058A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 刘远航;赵德文;李长坤;路新春 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光液输送装置和化学机械抛光设备，抛光液输送装置包括：基座，所述基座上设有基座孔；转轴，所述转轴设在所述基座孔内，且所述转轴设置为在所述基座孔内可选择性地转动；悬臂，所述悬臂相对于所述转轴可转动地连接在所述转轴上，其内部中空；抛光液管，所述抛光液管穿过所述基座孔后伸入所述悬臂内，用于输送抛光液；喷嘴组件，与所述抛光液管连通，所述喷嘴组件包括喷嘴座和设于喷嘴座下方的多个喷嘴；加载模块，用于改变抛光液的物理性质，所述加载模块环绕抛光液管设置以对其中流过的抛光液进行处理，和/或，不同喷嘴处分别设有不同加载模块以实现不同喷淋位置抛光液的不同处理。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 输送 装置 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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