[发明专利]一种光罩强光检测工艺在审
| 申请号： | 202110488497.6 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113176267A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 郑永庆;张衡;陈宏渊 | 申请（专利权）人： | 艾斯尔光电（南通）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光罩强光检测工艺，包括以下步骤：A、首先将待检测光罩放置于检测平台上，其中，检测平台采用环形结构，光罩曝光区处于检测平台中心；B、在检测平台下方安装聚合光系统；C、之后在聚合光系统下方安装多个LED光源；D、检测时，点亮多个LED光源，多个LED光源射出的光线经过聚合光系统聚合后形成一股强光，强光照射至光罩表面，检测人员能够看出光罩表面的缺陷，本发明采用的检测工艺操作简单，检测成本低，能够有效的检测光罩表面的质量缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 强光 检测 工艺 | ||
【主权项】：
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