[发明专利]一种光罩强光检测工艺

权利要求书

1.一种光罩强光检测工艺,其特征在于：包括以下步骤：

A、首先将待检测光罩放置于检测平台上，其中，检测平台采用环形结构，光罩曝光区处于检测平台中心；

B、在检测平台下方安装聚合光系统；

C、之后在聚合光系统下方安装多个LED光源；

D、检测时，点亮多个LED光源，多个LED光源射出的光线经过聚合光系统聚合后形成一股强光，强光照射至光罩表面，检测人员能够看出光罩表面的缺陷。

2.根据权利要求1所述的一种光罩强光检测工艺，其特征在于：所述步骤B中聚合光系统包括合光器（1）和聚光镜组（2），所述合光器（1）上设有与LED光源（3）对应的导光柱（4），所述导光柱（4）为圆形或多边形的锥状柱体；所述导光柱（4）的出光口形成合光器的出光面。

3.根据权利要求2所述的一种光罩强光检测工艺，其特征在于：所述聚光镜组（2）包括第一平凸透镜（5）和第二平凸透镜（6），所述第一平凸透镜（5）与第二平凸透镜（6）对称设置，且所述第一平凸透镜（5）与第二平凸透镜（6）的凸面相对，所述第一平凸透镜（5）的平面为入射面且贴近合光器的出光面，所述第二平凸透镜（6）的平面为出光面。

4.根据权利要求1所述的一种光罩强光检测工艺，其特征在于：所述步骤C中LED光源3设置3-5个。

5.根据权利要求1所述的一种光罩强光检测工艺，其特征在于：还包括光源控制器，所述光源控制器与多个LED光源电性连接，所述光源控制器用于控制LED光源的光照时间、亮度。