[发明专利]一种声表面波谐振器的制作方法在审
| 申请号： | 202110483492.4 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113162580A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王放;宋崇希;邱鲁岩;姚艳龙 | 申请（专利权）人： | 江苏卓胜微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 214072 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种声表面波谐振器的制作方法，该制作方法包括：提供一压电衬底；在压电衬底一侧制作叉指式换能器；在叉指式换能器远离压电衬底的一侧形成温度补偿层，温度补偿层的厚度在目标温度补偿层厚度的110％～120％之间，其中，温度补偿层包括第一补偿区和第二补偿区；在温度补偿层远离压电衬底的一侧形成金属膜层，金属膜层包括第一金属区和第二金属区；去除第一金属区；去除部分第一补偿区形成第三补偿区；去除第二金属区；对第三补偿区和第二补偿区进行处理。本发明实施例提供的制作方法可以减小温度补偿层在制作过程中对压电衬底的应力，提高声表面波谐振器的产能，进而提高声表面波滤波器的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 谐振器 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏卓胜微电子股份有限公司，未经江苏卓胜微电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110483492.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种包角焊接工艺
- 下一篇：全自动轴承座组装设备及方法
