[发明专利]缺陷检测方法和设备在审

专利信息
申请号: 202110447693.9 申请日: 2021-04-25
公开(公告)号: CN114092386A 公开(公告)日: 2022-02-25
发明(设计)人: 樋田祐辅 申请(专利权)人: 富士通株式会社
主分类号: G06T7/00 分类号: G06T7/00;G06T1/20;G06N3/04;G06K9/62
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 陈炜;李德山
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实施方式包括一种处理物理样本的图像以识别成像的物理样本上的缺陷的设备、方法以及计算机可读介质。该方法包括:执行对生成器神经网络的无监督训练,以生成输入图像的无缺陷重建;获取产品或材料的目标物理样本的实时图像;将实时图像输入至经训练的生成器神经网络以生成实时图像的无缺陷重建;将所生成的实时图像的无缺陷重建与所获取的实时图像进行比较以确定差异;在所确定的差异的位置处识别目标物理样本上的缺陷。其中,由叠加的缺陷图像数据引起的每个训练数据图像与相应父图像之间的差异量根据训练条件从最小值增长到最大值。
搜索关键词: 缺陷 检测 方法 设备
【主权项】:
暂无信息
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