[发明专利]一种可调节导流筒及半导体晶体生长装置在审
| 申请号： | 202110440189.6 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113337880A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 温雅楠;金光勳 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京磐华捷成知识产权代理有限公司 11851 | 代理人： | 谢栒 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种可调节导流筒及半导体晶体生长装置，导流筒包括固定部和调节部，导流筒呈桶状并绕晶棒四周设置，其中，固定部上端向外延伸的部分固定于半导体生长装置上，固定部向下延伸的部分为逐渐向晶体靠近的斜面，固定部底部为靠近液面的平面，以控制与液面的最小距离；调节部位于固定部的斜面上，调节部通过固定装置固定于固定部的斜面上，调节部用于根据需要调整与晶棒之间的最小距离。本发明在不改变其他参数的情况下，改变导流筒的调节部可以调整晶体氧含量，从而控制晶体的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 导流 半导体 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新昇半导体科技有限公司，未经上海新昇半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110440189.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于离心力原理的高硅铁矿石烧结预处理装置
- 下一篇：一种甘蔗播种机
