[发明专利]用于集成电路芯片封装覆膜的装置有效
申请号: | 202110438483.3 | 申请日: | 2021-04-22 |
公开(公告)号: | CN112967959B | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 陈昌太;纵雷;陈小飞;姜伟 | 申请(专利权)人: | 安徽大华半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京双收知识产权代理有限公司 11241 | 代理人: | 解政文 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本用于集成电路芯片封装覆膜的装置包括:气缸、电机轴、支撑板、滚筒、牵引辊、框架、一对导辊、带轮、滚筒轴和第一传输带,支撑板竖直放置,框架放置在支撑板中央,气缸固定在框架上端,气缸带动框架沿着支撑板上下移动,在框架左右两侧分别装有一对导辊,在框架外侧支撑板正面左右两侧对称位置处分别装有电机轴、滚筒、滚筒轴和牵引辊,滚筒轴旋转地装在支撑板上,滚筒固定在滚筒轴上,在滚筒下方外侧支撑板上装有旋转牵引辊,在框架内装有上模具和下模具,上模具装在下模具上,在滚筒上方支撑板上装有电机轴;滚筒轴和电机轴分别从支撑板正面穿过达到反面,在支撑板反面左右两侧对称位置处电机轴上分别装有带轮,在带轮和滚筒轴之间装有第一传输带。 | ||
搜索关键词: | 用于 集成电路 芯片 封装 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造