[发明专利]应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置有效
| 申请号： | 202110421860.2 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN113109593B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 江亮;徐文镔;钱林茂;解国新;和枫 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | G01Q10/00 | 分类号： | G01Q10/00 |
| 代理公司： | 成都虹盛汇泉专利代理有限公司 51268 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 610031 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置，包括腔体上盖、组合探针切换机构和组合探针，利用该装置在真空或气氛环境下实现多模式组合探针原位高效切换时，首先将该装置安装在扫描探针显微镜上，设置真空或气氛环境，然后组合探针切换机构摆动，驱动组合探针依次到目标位置，对样品进行多模式原位测试，该装置解决了现有扫描探针显微镜的不足，避免切换探针时破坏实验环境，支持多模式原位测试，通过电磁测试模式测试或改变样品表面电磁类物理量，通过轻敲模式无损测量样品表面形貌，尤其适用于软样品，通过摩擦力模式测试样品表面摩擦磨损，采用摆动式设计，减小装置体积，节约腔体空间，增加装置通用性。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 扫描 探针 显微镜 摆动 模式 组合 测试 装置 | ||
【主权项】：
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- 2017-01-13 - 2017-07-21 - G01Q10/00
- 本实用新型公开了一种微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是以固定设置的同一只激光器作为M个扫描单元的共用激光光源，激光器固定地呈水平发出激光光束；以M根微悬臂梁构成微悬臂梁阵列，针对M根微悬臂梁一一对应设置M只平面反射镜；M只平面反射镜共同固定设置在同一只转动台的不同位置上；驱动转动台的转动，使M只平面反射镜随着转动台的转动逐一地处在所述激光光束的光路中，并在M只平面反射镜上逐一地形成不同位置上的M束反射光，且一一对应地投照在微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的自由端，构成微悬臂梁阵列扫描系统，驱动转动台循环转动，实现对微悬臂梁阵列的循环扫描。本实用新型系统搭建简单且易于控制，精度高。
- 一种在原子力显微镜下刀具刃口半径检测用刃口定位装置-201510161339.4
- 吉日嘎兰图;张善文;齐向东;李晓天;唐玉国;巴音贺希格 - 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 2015-04-08 - 2017-07-14 - G01Q10/00
- 一种在原子力显微镜下刀具刃口半径检测用刃口定位装置属于刀具刃口检测领域，目的在于解决现有技术存在的刀刃定位困难、检测难度大和效率低的问题。本发明的一种在原子力显微镜下刀具刃口半径检测用刃口定位装置包括刀具刃口定位机构、光发射机构和光接收机构；所述刀具刃口定位机构包括定位基准机构、θ轴、定位安装架、拉簧和压簧；所述定位基准机构包括金刚石对刀头、定位柄、定位座、支架和过渡板；所述光发射机构和光接收机构位于刀具刃口定位机构的一侧，光发射机构发射出的激光照射到刀面上并反射，光接收机构接收经刀面反射的反射光，并检测反射能量，根据检测的反射能量判断刀具刃口的位置，实现刃口准确定位。
- 一种扫描离子电导显微镜激光定位探头-201510141247.X
- 庄健;焦阳博翰;尚春阳 - 西安交通大学
- 2015-03-27 - 2017-06-27 - G01Q10/00
- 本发明公开了一种扫描离子电导显微镜激光定位探头，包括用于安装探针的探针夹持模块，探针夹持模块上端安装有用于对探针定位的激光定位模块探针夹持模块包括探针夹持器，探针夹持器固定安装于扫描离子电导显微镜粗调手轮机构上，探针夹持器的前端安装有电极夹持器，电极夹持器中安装有探针；激光定位模块包括安装于探针夹持器上的微调滑轨机构，微调滑轨机构上安装于能够进行水平移动的支架结构，支架结构内部安装有用于调节激光光束位置的调节手轮机构，支架结构上安装有连接板结构，连接板结构上安装有激光光路结构。本发明在固定探针的同时，可利用激光对探针进行定位，从而协助扫描离子电导显微镜更加便捷高效地完成样本检测工作。
- 嵌套压电管驱动多维可脱离压电马达及扫描探针显微镜-201510679818.5
- 陆轻铀 - 中国科学院合肥物质科学研究院
- 2015-10-16 - 2017-04-26 - G01Q10/00
- 本发明公开了一种嵌套压电管驱动多维可脱离压电马达及扫描探针显微镜，特征是第一支撑环固定于筒形框架内壁，筒形框架上端与第一环形滑片间的弹簧将第一环形滑片压于第一支撑环上，第一套管与第一环形滑片共轴固定，第一滑杆套于第一套管内并通过簧片与之相压；X压电管套于筒形框架内并与之下端固定，第二支撑环固定于X压电管自由端，弹簧将第二环形滑片与第二支撑环相压，第二环形滑片将第一套管或第一环形滑片套入其内；第二套管固定于Z压电管自由端，第二滑杆套于第二套管内并通过簧片与之相压，构成Z马达，Z马达安装于第一套管与第一滑杆之间以驱动第一滑杆在第一套管中步进。本发明既能实现多维步进，又能实现多维脱离。
- 一种光束跟踪式原子力显微镜扫描测头-201310514419.4
- 吴森;胡晓东;胡小唐;徐临燕 - 天津大学
- 2013-10-28 - 2016-11-16 - G01Q10/00
- 一种光束跟踪式原子力显微镜扫描测头，是由光学检测模块和扫描模块构成，扫描模块有：进行水平一维扫描运动的Y向一维扫描机构和固定连接在Y向一维扫描机构上能够进行垂直一维扫描运动的Z向一维扫描机构，Z向一维扫描机构上固定有悬臂梁探针和位于悬臂梁探针上方的非球面透镜，Y向一维扫描机构上固定设置有直角棱镜；光学检测模块有：沿直角棱镜的水平入射光路依次设置的激光器、准直镜、极化分光镜、四分之一波片和第一分束器，其中，第一分束器的垂直分光光路上依次设置有第二分束器、管镜和CCD相机，第二分束器的水平方向接口连接有照明光源，极化分光镜的垂直光路上依次设置有会聚透镜和光电探测器。本发明能够消除误差，进行高速扫描成像。
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