[发明专利]应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置

权利要求书

1.应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置，其特征在于，包括腔体上盖、组合探针切换机构和组合探针，所述腔体上盖安装在扫描探针显微镜的腔体，组合探针切换机构安装在腔体上盖，组合探针安装在组合探针切换机构，通过组合探针切换机构摆动，驱动组合探针水平摆动，从而调整组合探针到目标位置，检测到样品表面的物理量，并将得到的检测信号传递到扫描显微镜；

所述腔体上盖包括主盖体、腔体上盖安装组件、腔体上盖密封槽、组合探针切换机构安装位、激光盒安装位、光窗、腔体上盖触点、组合探针切换机构真空穿透组件、走线槽、储线槽和储线槽盖板，所述主盖体为盘状结构，其两端设置有腔体上盖安装组件，包括连接板和手拧螺丝，连接板通过螺钉连接在主盖体，连接板设置有手拧螺丝安装通孔，手拧螺丝穿过手拧螺丝安装通孔连接在扫描探针显微镜的腔体，从而使腔体上盖安装在扫描探针显微镜，腔体上盖密封槽设置在主盖体靠近扫描探针显微镜的腔体的一面，用于在腔体上盖安装在扫描探针显微镜时形成静密封，保证扫描探针显微镜的腔体内外部空间的密封，组合探针切换机构安装位设置在主盖体靠近扫描探针显微镜的腔体的一面，组合探针切换机构安装位包括组合探针切换机构安装位凹槽和组合探针切换机构安装位压块，组合探针切换机构安装位凹槽为一矩形凹槽，用于置入组合探针切换机构，组合探针切换机构安装位压块通过螺钉连接在主盖体，组合探针切换机构被压紧在组合探针切换机构安装位凹槽和组合探针切换机构安装位压块之间，从而使组合探针切换机构安装在腔体上盖，激光盒安装位设置在主盖体远离扫描探针显微镜的腔体的一面，激光盒安装位包括激光盒定位块和激光盒安装螺纹孔，激光盒定位块通过螺钉连接在主盖体，扫描探针显微镜的激光盒侧面贴附在激光盒定位块，并通过螺纹连接在激光盒安装螺纹孔，从而使扫描探针显微镜的激光盒安装在腔体上盖，光窗设置在主盖体中部，并贯穿主盖体两侧，光窗包括透光玻璃安装位和透光玻璃，透光玻璃安装位外围为一矩形凹槽，矩形凹槽内部设置有矩形通孔，透光玻璃安装在透光玻璃安装位的矩形凹槽，并将透光玻璃安装位的矩形通孔封闭。

2.根据权利要求1所述的应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置，其特征在于，所述腔体上盖触点设置在主盖体靠近扫描探针显微镜的腔体的一面，腔体上盖触点包括第一腔体上盖触点、第二腔体上盖触点和第三腔体上盖触点，第一腔体上盖触点、第二腔体上盖触点和第三腔体上盖触点结构相同，分别包括绝缘底座和导电铜柱，腔体上盖触点与组合探针通过导线连接，用于将检测信号由组合探针传递至扫描探针显微镜。

3.根据权利要求1所述的应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置，其特征在于，所述组合探针切换机构真空穿透组件设置在主盖体远离扫描探针显微镜的腔体的一面，其用于传递组合探针切换信号以驱动组合探针切换机构摆动，并保证扫描探针显微镜的腔体内外部空间的密封。

4.根据权利要求1所述的应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置，其特征在于，所述走线槽和储线槽设置在主盖体靠近扫描探针显微镜的腔体的一面，走线槽连接在储线槽，储线槽连接在组合探针切换机构真空穿透组件，储线槽盖板通过螺钉安装在主盖体靠近扫描探针显微镜的腔体的一面，并将储线槽靠近扫描探针显微镜的腔体的一面封闭。

5.根据权利要求1所述的应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置，其特征在于，所述组合探针切换机构包括组合探针切换机构接口、组合探针切换机构接线和组合探针切换机构执行器，组合探针切换机构接口连接在组合探针切换机构真空穿透组件的组合探针切换机构真空穿透接口，用于将组合探针切换信号传入组合探针切换机构，组合探针切换机构接线通过走线槽，再通过储线槽与储线槽盖板间的空间，组合探针切换机构接线连接组合探针切换机构接口和组合探针切换机构执行器，用于将组合探针切换信号传入组合探针切换机构执行器，组合探针切换机构执行器用于安装组合探针，并在组合探针切换信号驱动下摆动，驱动组合探针水平摆动，从而调整组合探针到目标位置。