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[发明专利]一种可重复定位的扫描探针显微镜-CN202110086099.1在审
发明人：夏志刚;郭文璟;张晶晶 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： G01Q10/02 文献下载
摘要：一种可重复定位的扫描探针显微镜，包括镜体、步进器、预紧部件、扫描部件和样品台；该镜体包括三个相互平行的直线导向轨道，在其中两个直线导向轨道上置有步进器，该步进器被第三个直线导向轨道通过预紧部件压在上述的两个直线导向轨道上；该步进器包括一个支撑滑块、两个内滑块和三个压电体；所述的支撑滑块的两顶端的截面均为与上述两直线导向轨道的截面相匹配的斜面，并且该支撑滑块与上述两直线导向轨道形成四点刚性接触的大力矩稳固结构。该扫描探针显微镜在粗逼近/退针过程中不产生横向偏移，它在毫米级行程往复粗逼近/后退时，探针在样品同一区域的定位偏差小于30纳米。本发明尺寸小、结构紧凑、环境兼容性强、具有可重复定位功能。
一种重复定位扫描探针显微镜

[发明专利]单扫描管驱动的多维压电马达及可搜索扫描探针显微镜-CN201510477975.8有效
发明人：陆轻铀 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2015-08-03 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： G01Q10/02 文献下载
摘要：本发明单扫描管驱动的多维压电马达，包括XZ压电扫描管、中空滑杆、弹簧片、内套管、滑片、弹簧，内套管平行地套于XZ压电扫描管内，内套管与XZ压电扫描管的一端固定，中空滑杆平行地套于内套管内，弹簧片置于中空滑杆外壁与内套管内壁之间将二者弹性相压，随着XZ压电扫描管的X形变，中空滑杆位移大的一端称为大位移端，另一端称为小位移端，滑片被穿过中空滑杆的弹簧弹性地压于中空滑杆大位移端端口，弹簧的另一端与中空滑杆小位移端固定。当XZ压电扫描管换成XYZ压电扫描管时可实现三维步进。本发明仅用单个压电管即可实现两或三维步进，结构特别简单，且对称性高，漂移小，还能实现小范围的连续扫描定位，特别适合于制作可搜索扫描探针显微镜。
中空滑杆压电扫描管内套管探针显微镜搜索扫描压电马达大位移弹簧片扫描管小位移步进弹簧多维滑片平行三维弹簧弹性地压漂移内套管内壁驱动连续扫描弹性相压电管形变外壁穿过制作

[发明专利]一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近方法及装置-CN200910220156.X无效
发明人：周磊;于鹏;刘柱;杨洋;董再励 -专利权人：中国科学院沈阳自动化研究所
申请日： 2009-11-25 - 公布日： 2011-05-25 - 主分类号： G01Q10/02 文献下载
摘要：本发明涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术，公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近方法及装置，本发明通过控制步进电机带动样品台上升，利用激光接收器检测信号来判断样品是否运动到预定位置，完成逼近初调；然后控制压电陶瓷驱动器向上逼近，通过检测光电传感器来判断样品是否接触探针，来完成最终逼近。本发明可以有效解决在样品逼近过程中样品厚度对逼近过程中的影响，减少逼近过程中对探针及样品表面的破坏损伤。
一种面向纳米观测操作无损自动逼近方法装置