[发明专利]驱动系统、光刻装置以及物品的制造方法在审
| 申请号： | 202110421529.0 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN113541532A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 北直树 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H02P6/00 | 分类号： | H02P6/00;H02K11/215;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及驱动系统、光刻装置以及物品制造方法。为了提供能够进行精度高的驱动的驱动系统，在驱动系统中，具有：马达，包括定子和动子；位置检测部，检测马达的定子和动子的相对位置；取得部，取得与所述相对位置对应的成为基准的磁通密度信息；测定单元，测定与所述相对位置对应的实际的磁通密度信息；以及控制单元，将成为基准的磁通密度信息的大小与预定的设定值一致时的所述相对位置设为第1相对位置，将由测定单元测定的磁通密度信息的大小与所述预定的设定值一致时的所述相对位置设为第2相对位置，在测定的磁通密度信息变化一个周期的期间多次取得第1相对位置与第2相对位置之差，根据所述多次中的每一次的差，控制马达的驱动。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 系统 光刻 装置 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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