[发明专利]驱动系统、光刻装置以及物品的制造方法

权利要求书

1.一种驱动系统，其特征在于，具有：

马达，包括定子和动子；

位置检测部，检测所述马达的定子与动子的相对位置；

取得部，取得与所述相对位置对应的成为基准的磁通密度信息；

测定单元，测定与所述相对位置对应的实际的磁通密度信息；以及

控制单元，将所述成为基准的磁通密度信息的大小与预定的设定值一致时的所述相对位置设为第1相对位置，将由所述测定单元测定的磁通密度信息的大小与所述预定的设定值一致时的所述相对位置设为第2相对位置，在所述测定的磁通密度信息变化一个周期的期间多次取得所述第1相对位置与所述第2相对位置之差，根据所述多次中的每一次的差，控制所述马达的驱动。

2.根据权利要求1所述的驱动系统，其特征在于，

所述定子包括多个线圈，所述动子包括多个永久磁铁。

3.根据权利要求1所述的驱动系统，其特征在于，

所述定子包括多个永久磁铁，所述动子包括多个线圈。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的驱动系统，其特征在于，

所述成为基准的磁通密度信息是从动子或定子的磁铁间距和相对位置求出的值。

5.根据权利要求1所述的驱动系统，其特征在于，

所述测定的磁通密度信息是根据在使动子动作时得到的反电动势而决定的。

6.根据权利要求5所述的驱动系统，其特征在于，

所述驱动系统还具有用于使所述动子动作的其他马达，所述控制单元通过同时驱动所述马达和所述其他马达，使预定的对象在相同方向移动。

7.根据权利要求6所述的驱动系统，其特征在于，

所述控制单元根据在通过驱动所述马达使所述其他马达的动子动作时得到的反电动势，测定所述其他马达的磁通密度信息。

8.根据权利要求1所述的驱动系统，其特征在于，

所述磁通密度信息是与磁通对应的电压值。

9.根据权利要求1所述的驱动系统，其特征在于，

所述预定的设定值是包含0的所述成为基准的磁通密度信息及所述测定的磁通密度信息的振幅内的预定的设定值。

10.根据权利要求1所述的驱动系统，其特征在于，

所述控制单元在使所述成为基准的磁通密度信息和所述测定的磁通密度信息的振幅对齐的状态下取得所述差。

11.根据权利要求1所述的驱动系统，其特征在于，

所述设定值被设定多个，关于各个设定值取得所述差。

12.根据权利要求1所述的驱动系统，其特征在于，

所述控制单元根据多次中的每一次的差，控制所述马达的驱动电流。

13.根据权利要求1所述的驱动系统，其特征在于，

所述控制单元根据多次中的每一次的差，控制所述马达的线圈的切换定时。