[发明专利]驱动系统、光刻装置以及物品的制造方法

说明书

本发明涉及驱动系统、光刻装置以及物品制造方法。为了提供能够进行精度高的驱动的驱动系统，在驱动系统中，具有：马达，包括定子和动子；位置检测部，检测马达的定子和动子的相对位置；取得部，取得与所述相对位置对应的成为基准的磁通密度信息；测定单元，测定与所述相对位置对应的实际的磁通密度信息；以及控制单元，将成为基准的磁通密度信息的大小与预定的设定值一致时的所述相对位置设为第1相对位置，将由测定单元测定的磁通密度信息的大小与所述预定的设定值一致时的所述相对位置设为第2相对位置，在测定的磁通密度信息变化一个周期的期间多次取得第1相对位置与第2相对位置之差，根据所述多次中的每一次的差，控制马达的驱动。

技术领域

本发明涉及驱动系统、光刻装置以及物品制造方法。

背景技术

为了准确地驱动马达，必须提供与动子或定子产生的磁通密度的空间分布相匹配的电流指令值。然而，根据电流指令值参照的位置检测部的值计算出的磁通密度与动子或定子实际上产生的磁通密度之间产生误差。

为了降低该误差，在日本专利第3765287号、日本特开2008-178237号公报中，公开了一种求出计算上的磁通密度成为零的位置与测定的磁通密度成为零的位置的差来校正位置检测部的值或者电流指令值的系统。在日本专利第3765287号、日本特开2008-178237号公报中，通过代替磁通密度而测定与磁通密度成比例的马达的反电动势并计算磁通密度成为零的位置，校正位置检测部的值或者电流指令值。

发明内容

即，在日本专利第3765287号、日本特开2008-178237号公报中，在整个驱动范围或者磁通变化一个周期的期间，求出计算上的磁通密度成为零的位置与测定的磁通密度成为零的位置的差来校正位置检测部的值或者电流指令值。然而，在以往方法中，在整个驱动范围或者磁通变化一个周期的期间仅出现1个差，所以精度低，甚至无法校正由于多个磁铁的安装误差而产生的磁通密度的一个周期内的偏移。因此，不足以应用于例如光刻装置等。

本发明的目的在于提供一种能够进行精度高的位置控制的驱动系统。

解决课题的手段

为了达成该目的，本发明的一个侧面的驱动系统的特征在于，具有：

马达，包括定子和动子；

位置检测部，检测所述马达的定子与动子的相对位置；

取得部，取得与所述相对位置对应的成为基准的磁通密度信息；

测定单元，测定与所述相对位置对应的实际的磁通密度信息；以及

控制单元，将所述成为基准的磁通密度信息的大小与预定的设定值一致时的所述相对位置设为第1相对位置，将由所述测定单元测定的磁通密度信息的大小与所述预定的设定值一致时的所述相对位置设为第2相对位置，在所述测定的磁通密度信息变化一个周期的期间多次取得所述第1相对位置与所述第2相对位置之差，根据所述多次中的每一次的差来控制所述马达的驱动。

发明的效果

根据本发明的一个侧面，能够提供能够进行精度高的位置控制的驱动系统。

附图说明

图1是示出实施例中的使用线性马达的定位载置台的示意性结构的俯视图。

图2是实施例中的线性马达的结构图。

图3是实施例中的磁铁、线圈、位置检测器的原点的配置全部按照设计值时的配置与磁通密度的关系图。

图4是示出实施例中的动子从线圈121a～121c受到的力的图。