[发明专利]用于单晶PERC制绒的工艺在审
| 申请号： | 202110405344.0 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113130300A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 张龙飞;彭彪;顾峰;胡劲松;谈鹏远;吕武 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L31/18;C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人： | 孙悦 |
| 地址： | 230088 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于单晶PERC制绒的工艺，包括以下步骤：前清洗：将单晶制绒清洗机的入料传送带上放入待制绒及清洗的单晶硅电池板，通过传送带输送至前清洗槽；制绒：清洗完成的单晶硅电池板送入制绒槽内进行制绒；二次水洗；碱洗：将经热水浸泡的单晶硅电池板送入碱洗槽内进行碱洗；酸洗：对经过酸洗工序的单晶硅电池板进行碱洗浸泡，慢提拉；烘干燥；本发明简化了单晶硅电池板的清洗步骤，相比于传统的有粗抛单晶制绒工艺，降低了化学品的单耗，提高了生产效率，同时通过优化工艺步骤，改进工艺配方参数和制绒添加剂的协同作用，使制得的“金字塔”绒面数量更多、结构更加密集、均匀，进而增强太阳能电池板对入射光的转化效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 perc 工艺 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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