[发明专利]用于单晶PERC制绒的工艺在审
申请号: | 202110405344.0 | 申请日: | 2021-04-15 |
公开(公告)号: | CN113130300A | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 张龙飞;彭彪;顾峰;胡劲松;谈鹏远;吕武 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L31/18;C30B33/10;C30B29/06 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 孙悦 |
地址: | 230088 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 perc 工艺 | ||
本发明提供一种用于单晶PERC制绒的工艺,包括以下步骤:前清洗:将单晶制绒清洗机的入料传送带上放入待制绒及清洗的单晶硅电池板,通过传送带输送至前清洗槽;制绒:清洗完成的单晶硅电池板送入制绒槽内进行制绒;二次水洗;碱洗:将经热水浸泡的单晶硅电池板送入碱洗槽内进行碱洗;酸洗:对经过酸洗工序的单晶硅电池板进行碱洗浸泡,慢提拉;烘干燥;本发明简化了单晶硅电池板的清洗步骤,相比于传统的有粗抛单晶制绒工艺,降低了化学品的单耗,提高了生产效率,同时通过优化工艺步骤,改进工艺配方参数和制绒添加剂的协同作用,使制得的“金字塔”绒面数量更多、结构更加密集、均匀,进而增强太阳能电池板对入射光的转化效率。
技术领域
本发明涉及光伏电池板单晶PERC制绒技术领域,具体为一种用于单晶PERC制绒的工艺。
背景技术
太阳能电池的制备生产过程中,首要是在硅片表面形成“金字塔”绒面,均匀而致密的“金字塔”绒面对电池片的光转化效率起着至关重要的作用;
传统的制绒工艺包括有粗抛(含:前清洗和后清洗)清洗工序,而采用有粗抛工艺形成的“金字塔”绒面尺寸较大、数量较少,绒面均匀性和密集度较差,此种“金字塔”绒面下的光反射率较高,从而导致光转化效率低,此外,由于增加了清洗工序,进而提高了生产成本,且一定程度上影响了生产效率,故而传统的制绒工艺在成本、效率、制绒效果上均存在一定的降本增效空间;
因此本发明的目的在于开发一种能降低化学品单耗、且所制作的绒面“金字塔”数量更多、更密集且均匀,反射率更低,在降低成本的同时提升生产效率的适用于单晶制绒的单晶PERC制绒降本增效新工艺。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于单晶PERC制绒的工艺,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种用于单晶PERC制绒的工艺,包括以下步骤:
前清洗:将单晶制绒清洗机的入料传送带上放入待制绒及清洗的单晶硅电池板,通过传送带输送至前清洗槽,在前清洗槽内对单晶硅电池板进行初步清洗,前清洗槽内添加物质为热水、超纯水、NAOH和H2O2;
一次水洗:将完成前清洗工序的单晶硅电池板进行热水清洗;
制绒:清洗完成的单晶硅电池板送入制绒槽内进行制绒,制绒槽内添加物质为超纯水、NAOH和制绒添加剂;
二次水洗:将经制绒槽送出的单晶硅电池板进行热水浸泡清洗;
碱洗:将经热水浸泡的单晶硅电池板送入碱洗槽内进行碱洗,碱洗槽内添加物质为热水、超纯水、NAOH和H2O2;
三次水洗:将经碱洗送出的单晶硅电池板进行热水浸泡清洗;
酸洗:对经过三次水洗工序的单晶硅电池板进行碱洗浸泡,碱洗槽内的添加物质为超纯水、HF和HCL;
慢提拉:将酸洗过后的单晶硅电池板在充满热水的慢提拉槽内浸泡并通过慢提拉支架缓慢提拉脱水;
烘干燥:将提拉出水的单晶硅电池板送入烘干室内进行烘干燥处理。
优选的,所述制绒工序中的制绒槽数量不少于2个,所述制绒槽内初步组分配比为:超纯水:NAOH:制绒添加剂=6500-7000:8-10:4-6,所述制绒槽内自补组分配比为:超纯水:NAOH:制绒添加剂=180-200:8-10:2-5。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造