[发明专利]用于单晶PERC制绒的工艺在审
申请号: | 202110405344.0 | 申请日: | 2021-04-15 |
公开(公告)号: | CN113130300A | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 张龙飞;彭彪;顾峰;胡劲松;谈鹏远;吕武 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L31/18;C30B33/10;C30B29/06 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 孙悦 |
地址: | 230088 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 perc 工艺 | ||
1.一种用于单晶PERC制绒的工艺,其特征在于,包括以下步骤:
前清洗:将单晶制绒清洗机的入料传送带上放入待制绒及清洗的单晶硅电池板,通过传送带输送至前清洗槽,在前清洗槽内对单晶硅电池板进行初步清洗,前清洗槽内添加物质为热水、超纯水、NAOH和H2O2;
一次水洗:将完成前清洗工序的单晶硅电池板进行热水清洗;
制绒:清洗完成的单晶硅电池板送入制绒槽内进行制绒,制绒槽内添加物质为超纯水、NAOH和制绒添加剂;
二次水洗:将经制绒槽送出的单晶硅电池板进行热水浸泡清洗;
碱洗:将经热水浸泡的单晶硅电池板送入碱洗槽内进行碱洗,碱洗槽内添加物质为热水、超纯水、NAOH和H2O2;
三次水洗:将经碱洗送出的单晶硅电池板进行热水浸泡清洗;
酸洗:对经过三次水洗工序的单晶硅电池板进行碱洗浸泡,碱洗槽内的添加物质为超纯水、HF和HCL;
慢提拉:将酸洗过后的单晶硅电池板在充满热水的慢提拉槽内浸泡并通过慢提拉支架缓慢提拉脱水;
烘干燥:将提拉出水的单晶硅电池板送入烘干室内进行烘干燥处理。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶PERC制绒的工艺,其特征在于:所述制绒工序中的制绒槽数量不少于2个,所述制绒槽内初步组分配比为:超纯水:NAOH:制绒添加剂=6500-7000:8-10:4-6,所述制绒槽内自补组分配比为:超纯水:NAOH:制绒添加剂=180-200:8-10:2-5。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶PERC制绒的工艺,其特征在于:所述前清洗槽内初步组分配比为:热水:超纯水:NAOH:H2O2=50-70:15-25:1:30-40,所述前清洗槽内自补组分配比为:热水:超纯水:NAOH:H2O2=15-25:40-50:1-1.5:6-10。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶PERC制绒的工艺,其特征在于:所述碱洗槽中初步组分配比为:热水、超纯水、NAOH和H2O2=450-500:180-200:4-6:28-30,所述碱洗槽中自补组分配比为:超纯水、NAOH和H2O2=20-25:1:12-15。
5.根据权利要求1所述的一种用于单晶PERC制绒的工艺,其特征在于:所述酸洗槽中初步组分配比为:超纯水:HF:HCL=60-65:2-4:4-6,所述酸洗槽中自补组分配比为:超纯水:HF:HCL=10-15:1-3:2-4。
6.根据权利要求3所述的一种用于单晶PERC制绒的工艺,其特征在于:所述前清洗槽中热水、超纯水、NAOH和H2O2的初配量分别为240000ml、80000ml、4000ml和14000ml,所述前清洗槽中热水、超纯水、NAOH和H2O2的自补量分别为2000ml、4500ml、100ml和800ml。
7.根据权利要求4所述的一种用于单晶PERC制绒的工艺,其特征在于:所述碱洗槽中热水、超纯水、NAOH和H2O2的初配量分别为240000ml、100000ml、2500ml和14000ml,所述碱洗槽中超纯水、NAOH和H2O2的自补量分别为1200ml、50ml和600ml。
8.根据权利要求5所述的一种用于单晶PERC制绒的工艺,其特征在于:所述酸洗槽中超纯水、HF和HCL的初配量分别为250000ml、12000ml、20000ml,所述酸洗槽中超纯水、HF和HCL的自补量分别为1200ml、200ml和300ml。
9.根据权利要求2所述的一种用于单晶PERC制绒的工艺,其特征在于:所述制绒槽中超纯水、NAOH和制绒添加剂的初配量分别为340000ml、4500ml和2000ml,所述制绒槽中超纯水、NAOH和制绒添加剂的自补量分别为9500ml、450ml和150ml。
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