[发明专利]三通阀、输送系统及输送方法在审
| 申请号： | 202110397955.5 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN115199786A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 边大一;白国斌;高建峰;王桂磊;刘金彪;丁云凌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | F16K11/22 | 分类号： | F16K11/22;F16K27/00;F17D1/02;F17D1/14;B08B3/04;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 赵永刚 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种三通阀、输送系统及输送方法。其中，三通阀包括：机壳、至少两密封板和至少两驱动件；所述机壳内设置有通道，所述通道包括：一个总通道段和两个分通道段；所述总通道段的一端和两个分通道段的一端在所述机壳内连通；所述机壳开设有至少两第一密封开口，所述至少两第一密封开口分别与两个分通道段连通，所述至少两密封板通过相应的至少两第一密封开口与所述机壳滑移并密封连接；所述至少两驱动件分别与一个密封板固定连接，所述至少两驱动件均用于驱动相应的密封板平移，以实现相应的分通道段的导通与封闭。本发明能够延长三通阀的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 三通阀 输送 系统 方法 | ||
【主权项】：
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