[发明专利]三通阀、输送系统及输送方法

说明书

本发明提供一种三通阀、输送系统及输送方法。其中，三通阀包括：机壳、至少两密封板和至少两驱动件；所述机壳内设置有通道，所述通道包括：一个总通道段和两个分通道段；所述总通道段的一端和两个分通道段的一端在所述机壳内连通；所述机壳开设有至少两第一密封开口，所述至少两第一密封开口分别与两个分通道段连通，所述至少两密封板通过相应的至少两第一密封开口与所述机壳滑移并密封连接；所述至少两驱动件分别与一个密封板固定连接，所述至少两驱动件均用于驱动相应的密封板平移，以实现相应的分通道段的导通与封闭。本发明能够延长三通阀的使用寿命。

技术领域

本发明涉及半导体生产制造技术领域，尤其涉及一种三通阀、输送系统及输送方法。

背景技术

在半导体生产制造的过程中，通常会在一个反应仓内排出多种废气，且这些废气需要分种类进行收集。现有的通常是采用旋转式三通阀进行排气通道的切换。或者，一个供气或供液设备需要同时向多个反应仓输送同一种物料，也需要旋转式三通阀进行物质的运输，并在一个反应仓需要停止输送物料时不影响其他反应仓接收物料。

具体的是在旋转式三通阀中的一个进料通道和两个出料通道交汇的地方设置一个包含有一个通道的不锈钢球，通过转动不锈钢球的方向，使进料通道与两个出料通道中的任一个出料通道连通，或者不与其中任一个出料通道连通。

但是，如此不锈钢球在开口处与机壳的内壁摩擦较大，容易在不锈钢球与机壳接触的位置出现裂痕，从而出现漏气的现象，降低旋转式三通阀的使用寿命。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供的三通阀、输送系统及输送方法，能够通过驱动件驱动密封板以抽插的方式在机壳内平移，实现三通阀内相应通道的导通和封闭，从而能够提高三通阀内部密封位置处抗破损的能力，进而能够延长三通阀的使用寿命。

第一方面，本发明提供一种三通阀，包括：机壳、至少两密封板和至少两驱动件；

所述机壳内设置有通道，所述通道包括：一个总通道段和两个分通道段；

所述总通道段的一端和两个分通道段的一端在所述机壳内连通；

所述机壳开设有至少两第一密封开口，所述至少两第一密封开口分别与两个分通道段连通，所述至少两密封板通过相应的至少两第一密封开口与所述机壳滑移并密封连接；

所述至少两驱动件分别与一个密封板固定连接，所述至少两驱动件均用于驱动相应的密封板平移，以实现相应的分通道段的导通与封闭。

可选地，所述密封板的表面涂有耐磨层。

可选地，所述耐磨层的材料包括：聚四氟乙烯。

可选地，所述密封板的材料包括：不锈钢。

可选地，所述机壳还开设有第二密封开口，所述总通道段与所述第二密封开口连通；

所述机壳在所述第二密封开口还设置有所述密封板，所述密封板通过所述第二密封开口与所述机壳滑移并密封连接；

在所述第二密封开口处的密封板固定连接有一所述驱动件；

所述驱动件还用于驱动在所述第二密封开口处的密封板平移，以实现总通道段的导通与封闭。

可选地，所述机壳的材料包括：聚四氟乙烯和聚醚醚酮中的至少一种。

第二方面，本发明提供一种输送系统，包括：至少一供应端、至少两接收端、至少一如上任一项所述三通阀；

所述至少一供应端与总通道段连通，所述至少两接收端分别与两个分通道段连通。

第三方面，本发明提供一种输送系统，包括：至少一供应端、至少两接收端、至少两如上任一项所述三通阀；