[发明专利]碳化硅纳米颗粒及其制备方法和应用在审
| 申请号: | 202110390284.X | 申请日: | 2021-04-12 |
| 公开(公告)号: | CN113105245A | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
| 发明(设计)人: | 王城;周加文;夏维东 | 申请(专利权)人: | 合肥碳艺科技有限公司 |
| 主分类号: | C04B35/565 | 分类号: | C04B35/565;C04B35/626;H01L33/50;B82Y10/00;B82Y40/00 |
| 代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 张梦媚 |
| 地址: | 230088 安徽省合肥市高新区望江西*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种碳化硅纳米颗粒及其制备方法和应用,该制备方法采用含硅有机前驱体作为碳源和硅源,将其引导至大气压非平衡等离子体区域,在等离子体诱导下反应制得超细非晶碳化硅纳米颗粒,该制备工艺步骤简单,反应条件温和且成本低廉,具有应用前景。 | ||
| 搜索关键词: | 碳化硅 纳米 颗粒 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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