[发明专利]逐片连续生产的化学沉积设备

摘要

本发明提供了一种逐片连续生产的化学沉积设备，包括：沉积反应槽、移动机构及多个载具；沉积反应槽内于两个长槽壁分别安装多个喷流模块，喷流模块是采用斜置角度持续喷出反应液；移动机构安装于沉积反应槽外壁，包括马达、传动组件及两组链条组，链条组设有多个承接件，马达经由传动组件带动两个链条组同步移动；载具包括横杆及两承架，两承架固定于横杆且于另一侧具有开口，开口供放入电路板，横杆两端断面为非圆形且架设于两个承接件内；借此本发明载具不易晃动且采用直立形态承载电路板移动，配合反应液以斜置方式喷流至电路板表面和孔内壁，有效率地将金属沉积于电路板表面和孔内壁且避免气泡残留其中。