[发明专利]逐片连续生产的化学沉积设备

说明书

本发明提供了一种逐片连续生产的化学沉积设备，包括：沉积反应槽、移动机构及多个载具；沉积反应槽内于两个长槽壁分别安装多个喷流模块，喷流模块是采用斜置角度持续喷出反应液；移动机构安装于沉积反应槽外壁，包括马达、传动组件及两组链条组，链条组设有多个承接件，马达经由传动组件带动两个链条组同步移动；载具包括横杆及两承架，两承架固定于横杆且于另一侧具有开口，开口供放入电路板，横杆两端断面为非圆形且架设于两个承接件内；借此本发明载具不易晃动且采用直立形态承载电路板移动，配合反应液以斜置方式喷流至电路板表面和孔内壁，有效率地将金属沉积于电路板表面和孔内壁且避免气泡残留其中。

技术领域

本发明涉及电路板的化学沉积方法的技术领域，尤其涉及一种逐片连续生产的化学沉积设备。

背景技术

在现用化学镍金制程中，是利用单一吊篮装载多片电路板为一组，将所述电路板依序上升、下降及移动至各化学溶液槽或各类槽室内进行相关作业，以满足大量生产的需求。具体流程为上料→清洁→水洗→微蚀→水洗→酸洗→水洗→预浸→活化→水洗→后浸→水洗→化学沉镍→水洗→化学沉金→水洗→酸洗→水洗→烘干→下料。由于上述方法所需的厂房空间大，过程中容易让制程中有害气体飘散，影响操作者的健康，槽体尺寸大且槽体内反应液的需求量也大。另外生产后的大量废液处理也是一个成本负担。

发明内容

为解决上述问题，本发明的主要目的是提供一种逐片连续生产的化学沉积设备，在化学沉积生产作业中，仍由载具承载电路板采用垂直式连续生产模式于沉积反应槽内移动，但沉积反应槽内是由多个喷流模块以斜置角度喷出反应液，并利用载具的横杆两端为非圆形设计，使之在移动时不容易晃动，借此能提升生产效率又能维持生产质量。

本发明的次要目的是提供一种逐片连续生产的化学沉积设备，此方式能广泛应用于化学沉积镍、化学沉积金、化学沉积铜、化学沉积锡或化学沉积银等作业。

为达上述的目的，本发明为一种逐片连续生产的化学沉积设备，包括：沉积反应槽、多个载具、移动机构。沉积反应槽于两个相对长槽壁内分别安装多个喷流模块，喷流模块以斜置角度持续喷出反应液。移动机构安装于沉积反应槽外壁，包括马达、传动组件及两组链条组。两组链条组分别设置于长槽壁外侧。链条组设有多个承接件。马达经由传动组件带动两个链条组同步移动。载具包括横杆及两承架，两承架呈对称状固定于横杆，两承架于另一侧具有开口，开口供放入电路板，横杆两端断面为非圆形且架设于位置相对的两个承接件内。

在本发明的实施例中，斜置角度介于5至20度，斜置角度是指载具放置方向与喷流模块液体喷出的中心线的夹角。

在本发明的实施例中，多个喷流模块设置于沉积反应槽位置相对的两个长槽壁，且呈交错分布。

在本发明的实施例中，载具还包括多个连接杆及保持杆，连接杆采用横向结合于两承架之间，保持杆结合于两承架的最底部位置，保持杆两端各设有垂直状的止挡杆，两个止挡杆之间的距离，恰好为电路板最大尺寸的宽度，防止电路板朝向两侧滑出。

在本发明的实施例中，保持杆中段位置设有至少一个承载件。

在本发明的实施例中，其中横杆的形状为长方型、扁平型、多边型的其中一种。

在本发明的实施例中，承接件具有朝上的凹槽，凹槽用以承接载具的横杆，且横杆位于凹槽内就无法被转动。

在本发明的实施例中，凹槽的开口区域为由上而下渐渐缩小的喇叭型。

综合以上所述，本发明的逐片连续生产的化学沉积设备，是利用载具承载着电路板于化学沉积槽内移动，利用化学沉积槽内的多个喷流模块以斜置角度持续喷出的反应液，所产生的水流不仅能带离电路板表面、或是电路板上通孔或盲孔内可能残留的气泡，且有效地提升前述各处反应液的置换效率，因此提升了电路板表面、通孔或盲孔内的沉积厚度均匀性。如此能提升生产效率且维持生产质量。另外载具的横杆形状呈非圆形，不管在移动过程或受喷流模块反应液喷出接触时，皆不会产生晃动，维持生产质量。