[发明专利]逐片连续生产的化学沉积设备

权利要求书

1.一种逐片连续生产的化学沉积设备，其特征在于，包括：

一沉积反应槽，于两个相对位置的长槽壁内分别安装多个喷流模块，所述喷流模块以斜置角度持续喷出反应液；

一移动机构，安装于所述沉积反应槽外壁，包括马达、传动组件及两组链条组，两组所述链条组分别设置于所述长槽壁外侧，所述链条组设有多个承接件，所述马达经由所述传动组件带动两个所述链条组同步移动；

多个载具，包括横杆及两承架，所述两承架呈对称状固定于所述横杆，所述两承架于另一侧具有开口，所述开口供放入电路板，所述横杆两端断面为非圆形且架设于位置相对应的两个所述承接件内。

2.根据权利要求1所述的逐片连续生产的化学沉积设备，其特征在于，所述斜置角度介于5至20度，所述斜置角度是指所述载具设置方向与所述喷流模块液体喷出的中心线的夹角。

3.根据权利要求1所述的逐片连续生产的化学沉积设备，其特征在于，多个所述喷流模块呈交错分布方式设置于两个所述长槽壁。

4.根据权利要求1所述的逐片连续生产的化学沉积设备，其特征在于，所述载具还包括多个连接杆及保持杆，所述连接杆采用横向结合于所述两承架之间，所述保持杆结合于所述两承架的最底部位置，所述保持杆两端各设有止挡杆，两个所述止挡杆之间的距离，恰好为所述电路板最大尺寸的宽度，防止电路板朝两侧滑出。

5.根据权利要求4所述的逐片连续生产的化学沉积设备，其特征在于，所述保持杆中段位置设有至少一个承载件。

6.根据权利要求1所述的逐片连续生产的化学沉积设备，其特征在于，所述横杆的形状为长方型、扁平型、多边型的其中一种。

7.根据权利要求1所述的逐片连续生产的化学沉积设备，其特征在于，所述承接件具有朝上的凹槽，所述凹槽用以承接所述载具的所述横杆。

8.根据权利要求7所述的逐片连续生产的化学沉积设备，其特征在于，所述凹槽开口区域呈由上而下渐渐缩小的喇叭型。