[发明专利]一种制作发光装置的方法以及发光装置在审
| 申请号： | 202110361849.1 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN115188915A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 涂昕 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32 |
| 代理公司： | 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 | 代理人： | 许铨芬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例涉及一种制作发光装置的方法以及发光装置，所述发光装置包括发光区和金属导通区，所述金属导通区用于连接所述发光区以及控制电路，制作发光装置的方法包括在所述金属导通区形成牺牲层；使用等离子体增强原子层沉积技术在所述发光区和金属导通区形成第一阻挡层；于所述发光区，在所述第一阻挡层上形成封装层；对所述金属导通区加热，以去除所述牺牲层和所述金属导通区上的膜层，通过等离子体增强原子层沉积技术在所述发光区和金属导通区形成的第一阻挡层膜质致密，台阶覆盖率好，在发光装置的制程中，不需要额外配置刻蚀机台，即可去除金属导通区上的第一阻挡层，本申请制作发光装置的方法的制作成本低，成膜质量好，用户体验良好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 发光 装置 方法 以及 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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